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太原PVD镀膜厂-「金百辰」










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近年来纳米超硬膜技术已成为涂层领域研究开发的-,自2000年以来在国内已进入持续开发阶段。超硬膜定义为硬度大于40gpa,众所周知,金刚石、立方氮化硼、非晶态类金刚石等具有超硬膜的本征硬度,其研究及应用已经历了较长时间,但其膜系本身的某些特性却制约了应用领域的拓展。如金刚石薄膜并不适合于铁基材料的切削加工,而立方氮化硼薄膜由于难于与刀具基体结合、易剥落,且高纯度的c-bn制备困难,也尚未达到商业应用水平。因此近年来薄膜技术的开发-更多的集中于非本征超硬膜的研究。非本征硬度超硬薄膜的超硬性和力学性能主要来自于它们组成物的性质和超细显微结构,其组成物多为氧化物、碳化物、氮化物及硼化物,而其显微结构达到了纳米数量级。



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在高真空状态下,气体分子密度-,容器中分子数很少。因此,分子在运动过程中相互碰撞很少,气体分子的平均自由程已大于一般真空容器的线度,绝大多数的分子与器壁相碰撞。因而在高真空状态蒸发的材料,其分子或微粒将按直线方向飞行。另外,由于容器中的真空度-,容器空间的任何物体与残余气体分子的化学作用也十分微弱。在这种状态下,气体的热传导和内摩擦已变得与压强无关。





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