PVD金属真空镀膜-金百辰(在线咨询)-丽水PVD真空镀膜

维护和保养方法

1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，pvd真空镀膜工艺参数，应清洁工作室一次。

方法是：用naoh饱和溶液反复擦洗真空室内壁， 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，丽水pvd真空镀膜，以免灼伤目的是使镀上去的膜料铝al与naoh发生反应，反应后膜层脱落，pvd真空镀膜厂家，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵滑阀泵，旋片泵连续工作一个月雨季减半，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量油视镜观察。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，pvd金属真空镀膜，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。